[인더스트리뉴스 최종윤 기자] 반도체, 포토닉스, 고성능 현미경 등 초정밀 산업 분야에서는 나노미터 수준의 위치 정렬이 점점 더 중요해지고 있다. Physik Instrumente(PI, 피아이)의 PIHera XY 피에조 스테이지는 우수한 분해능 및 안정성과 함께 빠른 납기로 제공된다.
해당 스테이지는 서브나노미터 분해능, 백래시 없는 플렉셔 가이드, 정전용량 센서 기반의 고정밀 제어 기술을 적용해, 위치 반복성과 장기 안정성 측면 모두에서 우수한 성능을 발휘한다.
특히 공간 효율성을 고려한 컴팩트한 설계와 함께, 120~1000µm의 이동 범위를 제공해 다양한 기술 환경에 유연하게 대응할 수 있다.
PIHera 시리즈의 핵심에는 PI가 자체 제조한 PICMA 멀티레이어 피에조 액추에이터가 탑재돼 있다. 전면 세라믹 절연 구조로 설계된 이 액추에이터는 습기 환경에서도 안정적으로 작동하며, 긴 수명과 높은 신뢰성을 동시에 제공한다.
이러한 구조 덕분에 스테이지는 진동이 민감한 환경이나 고속 반복 동작이 요구되는 응용 분야에도 안정적으로 사용할 수 있다.
PI는 일부 모델에 대해 전용 컨트롤러와 함께 짧은 리드 타임으로 공급할 수 있어 납기가 중요한 반도체나 연구 프로젝트 등에서 시간 손실을 최소화할 수 있다.
주요 적용 분야는 레이저 정렬, 웨이퍼 검사, 광학 부품 위치 보정, 간섭계 기반의 미세 정렬 작업, 고해상도 현미경 샘플 제어 등이다.
서브나노미터급 정밀 제어가 요구되는 다양한 공정에서 PIHera는 이미 다수의 글로벌 고객들로부터 안정성과 기술력을 입증받고 있다.
